根據美國商務部資料，半導體新創公司 xLight 成立於 2021 年，由英特爾前執行長 Pat Gelsinger 擔任執行董事長，該公司於 2026 年 6 月獲得 1.5 億美元的股權投資。該公司目前正在協商額外募集 3.5 億美元，使總募資額達到約 5.5 億美元。xLight 正在開發自由電子雷射（FEL）技術，挑戰 ASML 在極紫外光（EUV）微影光源領域的壟斷地位，計劃在 2028 年前交付可相容於生產環境的原型機。
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